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      ● 油增壓泵
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 ● 空間環境模擬裝備及真空專用設備
 ● 低溫產品
 ● 鋁合金圓棒
     
    JPTD 磁控鍍膜系列
  ※ 系列產品參數
型號項目
JPTD-1000L
JPTD-1000LA
JPTD-1000LC
  極限真空度   Pa
5.0×10-3(清潔、干燥、空載)
  恢復真空時間  Pa
18(從大氣~10-2Pa)
  基材
PET、PVC、PE等
  有效鍍幅    mm
500
650
800
  最大卷徑    mm
Φ300
  鍍膜速度   m/min
ITO靶0.5~1.5m/min 其它靶 5m/min(max)
  磁控靶數目    只
5
6
8
  靶材    
銦錫合金(黃銅、紫銅、鎳、鈦等選用)
  濺射壓力    Pa
1~0.1
  濺射電壓    V
300~600(D.C)
  工作氣體
Ar、 O2純度99.99%
  最大需用功率  KVA
52
55
78
  冷卻水量    t/h
5    (入口壓力0.15~0.2MPa,進水溫度25℃以下)
  占地面積      mm
6850×5020×2600
7000×5020×2600
7250×5020×2600
    
 
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